LIMO:300mm*300mm玻璃微光學晶圓全球唯一制造商

在生產復雜的玻璃光學器件時,制造商面臨的一大挑戰是:如何在大規模生產時,在確保高精度的前提下,保持加工大尺寸玻璃微光學晶圓的一致性。

經過兩年多的持續研發,炬光科技全資子公司LIMO實現了革命性的突破:在室溫加工環境下,單位時間內可生產更大尺寸的玻璃微光學晶圓,不影響加工質量的同時,又顯著降低了生產成本。

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LIMO的第五代微光學晶圓加工工藝,相較于第一代,成功地將晶圓的尺寸從35mm*35mm 增加到300mm*300mm,在相同的加工時間內,大幅度增加產出,從而極大地降低了微光學產品的生產成本。

利用這種效率更高的新技術,LIMO成為了世界上唯一一家能夠穩定批量生產300mm*300mm玻璃微光學晶圓的供應商,僅用一塊玻璃微光學晶圓即可生產2.5萬個標準尺寸的高精度FAC透鏡。

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LIMO是全球唯一一家能夠批量生產300mm*300mm高精度柱透鏡微光學晶圓的公司。

300mm*300mm的玻璃微光學晶圓使得玻璃微光學器件的成本,有史以來第一次有可能接近低成本的高分子光學器件,從而使得高精度的玻璃微光學器件能夠在對價格敏感的領域實現規模化應用。

典型應用領域

?3D感知

激光3D感知技術的基本原理是利用陣列激光脈沖從探測場景中收集被測目標反射的脈沖信號,通過信號時間差或相位差計算被測目標的深度信息,從而得到3D空間的目標模型。在激光3D感知技術中,基于微光學的激光線陣或點陣光源模組是核心組件之一,為了達到高精度的3D感知,需要足夠密集和能量均勻分布的陣列,傳統的幾何光學在光學效果、體積、成本等方面都已經無法達到此要求,只有通過微光學進行微納尺度上的光學整形,才能實現芯片級的光學模組集成。目前,LIMO的微光學器件在人臉識別、安防(機場監控)等領域都已開始得到應用。

?用于材料加工處理的半導體泵浦固體/光纖激光器

在材料加工領域,大功率的光纖激光器和固體激光器的應用越來越廣泛。利用具有最高光電轉化效率的半導體激光器,結合FAC(快軸準直)、SAC(慢軸準直)及BTS(光斑轉換)等微光學技術和器件,是生產大功率光纖激光器和半導體泵浦固體激光器的重要組成部分。利用LIMO的300mm*300mm第五代微光學晶圓加工工藝,可為客戶提供低成本、高性能、耦合效率高的微光學元器件。

?用于半導體芯片制造的浸入式光刻技術

隨著浸入式光刻技術的應用,半導體器件晶體管密度不斷增加,所以今天我們可以看到以一個毫米級的硅片承載著1TB的信息,或者整臺電腦被集成在一個芯片上。微光學為半導體光刻機提供光束形態轉換元器件、光場勻化器件、光參數積轉換器。用于光刻的準分子激光勻化在硅片上,使得光刻實現高精度和高分辨率。

?以激光剝離技術實現柔性顯示的規模應用

使用紫外線激光的激光剝離技術實現了柔性顯示膜層和剝離基板的無接觸光學剝離,這對于常規機械分離來說是不可能的。在柔性顯示OLED的制程中,基于微光學光束形態轉換元器件、光場勻化器件將深紫外激光整形成一條20-30微米寬,750毫米甚至更長的高能量密度的線光斑,通過掃描實現柔性顯示膜層從玻璃基板無接觸剝離。LIMO的UV L-750光學系統已廣泛應用在行業中,并憑借優異的設計和性能獲得2018年PRISM AWARD。

?激光雷達(LiDAR)

基于微光學技術和整形激光器的光學感知器件小巧可靠,能精確測量您的車輛在交通中的位置,把您安全輕松地帶到目的地。

盡管LiDAR的方案實現不同,但激光雷達發射器組件大部分都包含了準直、耦合、擴束及勻化功能中的一種或幾種。需要用到的微光學器件有:激光器準直元器件、耦合元器件、光束形態轉換元器件、光場勻化擴束器。

炬光科技全資子公司LIMO提供的微光學器件,可使激光光源形成及輸出大視場、遠探測距、高分辨率(高準直度掃描)、高均勻度、無零級衍射(亮曝點)人眼安全的激光雷達光束,解決現有激光雷達技術的小視場(造成多雷達安裝擴大視場的成本上升)、探測距短、分辨率不高(準直度低)、均勻度低、有零級衍射(亮曝點)人眼不安全的問題。

LIMO高精度玻璃光學器件的優勢

?LIMO微光學器件最大的優點是其光學質量高,性能穩定,生產成本低,一致性好。

?LIMO的玻璃光學器件能夠在-40℃~150℃的溫度范圍長期穩定地工作,并保持完美的光學性能。 

?相比高分子光學器件,玻璃光學器件有更高的激光損失閾值,即使在高激光強度下使用,也能提供穩定的光學性能。

?LIMO的微光學器件是折射光學元件,而不是衍射光學元件,因此沒有零級衍射(亮曝點),對人眼安全。


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