LIMO勻化片助您實現高精度光束成型

平頂、矩形、方形和線形 - LIMO 勻化片可生成多種光束形狀，因而用途極廣。LIMO 光束成型解決方案已成功用于生產基片和完整模塊。

除了標準勻化片基片，LIMO也提供定制解決方案。我們能夠在不同的晶圓尺寸（最大300mm）上生產具備最高精度的自由曲面透鏡。

優勢：

    ● 可處理各種場幾何形狀
    ● 均勻性達到技術極限 (<1% P-V)
    ● 高 NA、高填充因子和極化保持
    ● 光學效率高達 90%，有助于降低高昂的激光能量成本
    ● 采用優質材料制成，例如熔融石英、CaF2
    ● 適用于多種不同激光源（例如準分子激光器、固態激光器和半導體激光器）

應用：

我們的標準勻化片基片可單獨或成對用于均勻激光照明。LIMO 的精密均質機可用于顯微光刻技術中采用的曝光裝置（步進器和掃描儀）。

其他應用示例：

    ● 燒蝕
    ● 退火
    ● 回火
    ● 半導體工業
    ● FPD（平板顯示裝置）
    ● PV（光伏）

均質機基片

除了定制化均質機基片以外，LIMO 還提供單面結構的微透鏡陣列。如需了解更多信息，請點擊此處。

勻化片模塊

我們提供定制化勻化片模塊，以及包含掃描儀在內的整套光束成型系統——一切依您所需。

用于離軸照明的勻化片模塊（光束成型器 180 x 180 mm2）

您是否正在尋找提高流程效率的新方法？請試試我們的應用中心！請向我們發送填寫完整的，或直接聯系LIMO中國電子郵箱。