LIMO勻化片助您實現高精度光束成型

平頂、矩形、方形和線形 - LIMO 勻化片可生成多種光束形狀,因而用途極廣。LIMO 光束成型解決方案已成功用于生產基片和完整模塊。

除了標準勻化片基片,LIMO也提供定制解決方案。我們能夠在不同的晶圓尺寸(最大300mm)上生產具備最高精度的自由曲面透鏡。


優勢:

    ● 可處理各種場幾何形狀
    ● 均勻性達到技術極限 (<1% P-V)
    ● 高 NA、高填充因子和極化保持
    ● 光學效率高達 90%,有助于降低高昂的激光能量成本
    ● 采用優質材料制成,例如熔融石英、CaF2
    ● 適用于多種不同激光源(例如準分子激光器、固態激光器和半導體激光器)


應用:

我們的標準勻化片基片可單獨或成對用于均勻激光照明。LIMO 的精密均質機可用于顯微光刻技術中采用的曝光裝置(步進器和掃描儀)。

其他應用示例:

    ● 燒蝕
    ● 退火
    ● 回火
    ● 半導體工業
    ● FPD(平板顯示裝置)
    ● PV(光伏)


均質機基片

EFL [mm]

間距 [mm]

尺寸 [mm2]

0.5

12x12

ZLA000481

ZLA000238 (特價)

ZLA000240 (特價)

ZLA000485 (特價)

0.8

20x20

ZLA000509 (特價)

ZLA000243 (特價)

ZLA000507 (特價)

ZLA000511 (特價)

1.3

35x35

ZLA000788 (特價)

ZLA000743 (特價)

ZLA000745 (特價)


除了定制化均質機基片以外,LIMO 還提供單面結構的微透鏡陣列。如需了解更多信息,請點擊此處。


勻化片模塊

我們提供定制化勻化片模塊,以及包含掃描儀在內的整套光束成型系統——一切依您所需。

用于離軸照明的勻化片模塊(光束成型器 180 x 180 mm2)

您是否正在尋找提高流程效率的新方法?請試試我們的應用中心!請向我們發送填寫完整的,或直接聯系LIMO中國電子郵箱