LIMO勻化片助您實現高精度光束成型
平頂、矩形、方形和線形 - LIMO 勻化片可生成多種光束形狀,因而用途極廣。LIMO 光束成型解決方案已成功用于生產基片和完整模塊。
除了標準勻化片基片,LIMO也提供定制解決方案。我們能夠在不同的晶圓尺寸(最大300mm)上生產具備最高精度的自由曲面透鏡。
優勢:
● 可處理各種場幾何形狀
● 均勻性達到技術極限 (<1% P-V)
● 高 NA、高填充因子和極化保持
● 光學效率高達 90%,有助于降低高昂的激光能量成本
● 采用優質材料制成,例如熔融石英、CaF2
● 適用于多種不同激光源(例如準分子激光器、固態激光器和半導體激光器)
應用:
我們的標準勻化片基片可單獨或成對用于均勻激光照明。LIMO 的精密均質機可用于顯微光刻技術中采用的曝光裝置(步進器和掃描儀)。
其他應用示例:
● 燒蝕
● 退火
● 回火
● 半導體工業
● FPD(平板顯示裝置)
● PV(光伏)
均質機基片
EFL [mm] | 間距 [mm] | 尺寸 [mm2] | |
0.5 | 12x12 | ZLA000481 ZLA000238 (特價) ZLA000240 (特價) ZLA000485 (特價) | |
0.8 | 20x20 | ZLA000509 (特價) ZLA000243 (特價) ZLA000507 (特價) ZLA000511 (特價) | |
1.3 | 35x35 | ZLA000788 (特價) ZLA000743 (特價) ZLA000745 (特價) |
除了定制化均質機基片以外,LIMO 還提供單面結構的微透鏡陣列。如需了解更多信息,請點擊此處。
勻化片模塊
我們提供定制化勻化片模塊,以及包含掃描儀在內的整套光束成型系統——一切依您所需。
用于離軸照明的勻化片模塊(光束成型器 180 x 180 mm2)
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