半導體制造

用于半導體生產技術的光束成型

微光學解決方案已成為高性能半導體工業所使用的復雜照明系統中不可或缺的一部分。多年來，業界領先的半導體設備制造商紛紛受益于LIMO折射性微光學元件的諸多優勢。我們與客戶緊密合作，致力于提供全新的創新型解決方案或優化現有方法。

正因如此，LIMO的微光學解決方案才能幫助半導體行業的產品實現最佳精準度和分辨率。憑借此解決方案，LIMO為實現亞30nm結構的光學光刻生產做出了貢獻。

LIMO解決方案的優勢

●  適用于大角度的深透鏡剖面（超 NA）
●  高均質性（大于 1%）
●  高效 (97%)，得益于高填充系數和優化的光學表面
●  用勻化片補償光束位移（光束穩定）
●  持續質檢
●  金屬化和焊接光學
●  使用壽命長
●  兼容潔凈室
●  全套光學模塊解決方案，易于使用（斜邊和機械支架）和實施
●  大量高品質材料，如玻璃（熔融石英、S-TIH53、Bk7）、結晶體（CaF2、MgF2、YAG、LuAG）和半導體（Si、Ge、ZnSe）
●  單獨切割，打造不同形狀
●  采用自由曲面透鏡面，實現寬光譜強度分布
●  微透鏡陣列的每個單透鏡都具有獨特的剖面，從而實現特殊的定制化和優化解決方案
●  基于高重復率和再現率，實現晶元高精度制造工藝

產品和解決方案

●  微透鏡陣列
●  勻化片和勻化模塊
●  設計

要尋找優化工藝設計的新思路？也許 LIMO 已為您找到了解決方案。請試試我們的應用中心！請向我們發送填寫完整的或直接聯系 LIMO中國電子郵箱 。